難熔金屬鎢及鎢合金由于具有高溫穩定性好、電子遷移抗力高以及電子發(fā)射系數高等優(yōu)點(diǎn)，高純鎢及鎢合金靶材主要用于制造半導體集成電路的柵電極、連接布線(xiàn)、擴散阻擋層等，對材料的純度、雜質(zhì)元素含量、致密度、晶粒尺寸及晶粒組織均勻性等方面都有著(zhù)極高的要求。下面就讓北京瑞弛的小編帶你一起看一下高純鎢靶材的制備過(guò)程中的影響因素都有哪些。

一、燒結溫度的影響

鎢靶胚體的成型工藝一般采用冷等靜壓方式制取，鎢晶粒在燒結過(guò)程中會(huì )發(fā)生長(cháng)大的現象，鎢晶粒的長(cháng)大會(huì )填補晶界之間的空隙，從而提高鎢靶材的密度。隨著(zhù)燒結次數的增加，鎢靶材的密度增加逐漸放緩。其原因主要是在多次燒結后，鎢靶材的質(zhì)量已變化不太，由于晶界中的空隙大多數被鎢晶體所填滿(mǎn)，在每次燒結后，鎢靶材的整體尺寸變化率已經(jīng)很小，從而導致鎢靶材的密度提升的空間有限。隨著(zhù)燒結的進(jìn)行，長(cháng)大的鎢晶粒填充到空隙中，導致粒度小的靶材致密性更高。

二、保溫時(shí)間的影響

相同燒結溫度下保溫，隨著(zhù)燒結保溫時(shí)間的延長(cháng)，鎢靶材的致密性得到相應的提高，隨著(zhù)保溫時(shí)間的延長(cháng)，鎢晶粒尺寸都有所增加，并且隨著(zhù)保溫時(shí)間的延長(cháng)，晶粒尺寸長(cháng)大倍數逐漸變慢，這就說(shuō)明提高保溫時(shí)間也可以提高鎢靶材的性能。

三、軋制對靶材性能的影響

為了提高鎢靶材材料的致密度，同時(shí)使鎢靶材獲得加工組織，鎢靶材的中溫軋制必須在再結晶溫度以下進(jìn)行。靶坯的軋制溫度高，靶坯的纖維組織就較粗大，反之靶材的纖維組織就較細。當溫軋加工率到95%以上時(shí)。盡管燒結的原始晶粒不同或者由于軋制溫度不同造成的纖維組織差異就會(huì )消除，靶材內部組織就形成了較為均勻的纖維組織，所以溫軋的加工率越高，靶材的性能就越好。